华海清科首台板级CMP装备进入量产
华海清科自主研发的首台全自动板级CMP装备Master-P510APEX已发往产线量产。随着先进封装需求增长,板级CMP是保障互连可靠性的关键工艺,该装备具备优异平坦化控制能力。
国内半导体设备商,标志着板级封装核心工艺装备自主化取得突破。
- Related manufacturers
- Huahai Qingke Technology Co., Ltd.
- Part numbers
- Master-P510APEX
- Impact score
- 25 / 100, low impact