NuAxi半导体贸易情报
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华海清科首台板级CMP装备进入量产
华海清科自主研发的首台全自动板级CMP装备Master-P510APEX已发往产线量产。随着先进封装需求增长，板级CMP是保障互连可靠性的关键工艺，该装备具备优异平坦化控制能力。利多国内半导体设备商，标志着板级封装核心工艺装备自主化取得突破。
CMP EquipmentPanel-level CMP Equipment
CMPAdvanced PackagingMass ProductionDomestic Equipment
来源：IT Home · 2026/9/9 · 查看原始来源
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