EUV增产的关键在于"光学系统"——ASML与Zeiss的挑战
这是一篇背景性报道,标题指出EUV增产的关键在于"光学系统",并聚焦ASML与Zeiss两家公司为此面临的挑战。正文内容因编码乱码无法辨认,无法从正文中提取更多事实细节(如具体增产计划、时间表或数字)。
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NuAxi 汇总提及阿斯麦的公开快讯:产品发布、产能与价格信号、供应链变化,持续更新。
这是一篇背景性报道,标题指出EUV增产的关键在于"光学系统",并聚焦ASML与Zeiss两家公司为此面临的挑战。正文内容因编码乱码无法辨认,无法从正文中提取更多事实细节(如具体增产计划、时间表或数字)。
荷兰科技记者马克·海金克(长期追踪ASML并著有相关书籍)在调查中提出判断:中国在出口管制全面收紧之前已囤积规模可观的ASML光刻机,为芯片技术持久战提供设备层面缓冲。其数据显示中国境内拥有800多台ASML光刻机,其中约一半在中国企业手中,另一半部署在三星、SK海力士等外资在华工厂;该数字并非官方统计,而是其基于长期跟踪的估算。文中指出,在EUV被禁、DUV尚可采购的窗口期内,中国企业进行了集中采购。这些存量设备被用于推进先进工艺:2022年中国厂商利用已有ASML DUV设备通过多重曝光实现等效7nm芯片制造;2023年国产5G手机搭载基于该工艺的芯片;文中同时说明DUV多重曝光在工艺复杂度、成本与良率控制上面临压力。管制方面,2024年荷兰政府部分撤销了ASML NXT:2050i和NXT:2100i浸润式DUV光刻机的对华出口许可,影响少数中国客户;此后美国进一步推动将限制范围扩大至存量设备的维保服务。海金克在2018至2019年随ASML时任CTO访问上海某工厂时观察到,中方产品停留在90nm水平,但研发路线已指向28nm浸润式系统。
越南首家半导体工厂的2027年试生产目标基本落空,厂址仍被野草覆盖,从ASML采购设备的协议未达成。Viettel缺乏经验且面临资金行政障碍,虽坚称按计划推进,但时间表不明确。
快科技10月24日报道,一周前ASML在最新发布的第三季度财报中披露,客户针对2027年、2028年的设备预订单需求已超过公司当下现有扩产计划,部分提前锁定产能的核心客户已开始咨询2029年、2030年的远期供货配额。ASML计划明年将低数值孔径EUV和浸没式DUV两类核心光刻机产能各提高30%,后续还将探索让2027年的产能增幅进一步超过30%;同时ASML已与所有主要客户完成新一轮定价谈判,部分市场供应紧俏的关键光刻设备产品将正式提价。ASML官宣扩产后,佳能公布增产规划,明年旗下半导体光刻设备整体产量最高将接近今年的两倍;尼康宣布启动更高精度数字光刻设备专项研发,业务方向对准先进封装芯片市场。文章称AI算力基础设施建设提速带动AI芯片及配套芯片需求爆发式增长,订单向上游传导带动光刻机订单量大幅走高;并提及余承东此前透露国内团队正全力攻坚EUV光刻机,现阶段国内量产先进芯片的主流工艺路径依托已完全国产化的深紫外光刻设备。行业观察人士认为这一轮扩产周期将推动全球半导体制造产能在未来三年内集中释放。
据10月24日报道,光刻机厂商ASML计划把员工满意度纳入高管薪酬考核,以缓解大规模组织重组引发的不满情绪。据《商业内幕》获得的内部备忘录,CEO克里斯托夫·富凯上周向员工透露该计划。ASML年度员工调查中,约4.4万名员工有超过3.8万人参与,敬业度指数从去年的78%下降至今年的73.5%。管理团队从调查中选出6道问题组成新的'工作体验指数',纳入高管薪酬的长期激励计划,未来几年将直接影响包括管理委员会成员在内的高管薪酬。ASML组织调整仍在推进:今年1月,ASML宣布或将裁减1700个岗位以压缩管理层级、聚焦工程研发,后称预计裁员人数将少于最初公布的规模。富凯发出备忘录几天后,ASML上调了2026年销售额预期,并承诺加快光刻机生产以满足AI热潮带来的强劲需求;ASML股价今年已上涨45%。
一篇2023年10月23日发布的分析文章(注:原文刊载日期为2026年10月23日)指出,出口管制使ASML最先进的EUV光刻机无法进入中国,中国芯片业转而依赖DUV光刻并通过多重曝光生产先进芯片,但代价是更大裸片、更多缺陷、更低良率、更长制造时间和更高成本。Fractilia联合创始人兼CTO Chris Mack称,业内惯常认为193nm浸没式工具三次曝光成本约等于EUV一次曝光,一旦达到四层掩模,EUV就更划算。2023年华为Mate 60 Pro拆解发现其Kirin 9000S由SMIC以无EUV的第二代7nm级工艺制造;对华为Kirin 9030的分析显示SMIC将其基于DUV的工艺进一步逼近5nm级密度,但仍落后于TSMC和三星的领先工艺。摩根士丹利6月报告估计,中国DRAM厂商CXMT每片晶圆产出的比特数仅为西方竞争对手约三分之一,其中旧工艺节点仅占差距约三分之一,光刻设备获取被视作中国存储发展的“硬天花板”。美光1-alpha代芯片在无EUV下开发,被视为DUV可拉伸的例证;其更新的1-gamma DRAM工艺采用EUV,美光称较前代1-beta每片晶圆比特密度提升超过30%。摩根士丹利假设CXMT无EUV将停留在1-alpha工艺,但靠新建产能将其全球DRAM比特供应份额从2026年的14%提升至2028年的16%,并预计中国AI芯片自给率从2025年的42%升至2030年的70%。Mack认为无EUV的3nm或2nm节点在经济上不可行。
据快科技10月22日消息,传闻在最近一次SpaceX电话会议上,马斯克透露TeraFab工厂计划2028年第三季度实现量产,也可能等到第四季度;马斯克认为该时间表"非常激进",因为美国地区生产先进逻辑芯片的晶圆厂通常需要三年或更长时间才能建成。另有消息称,SpaceX计划2027年5月至6月之间在位于奥斯汀的研究设施生产首个SRAM测试芯片,以完成开发及优化制造工艺。有分析人士指出,确保拿到生产设备仍是TeraFab项目面临的主要难题,尤其是来自ASML等供应商的关键设备。ASML近日公布2026年第三季度财报,表示订单量增长强劲;虽然2027年和2028年产能都将增长30%,但预计现有供应计划仍无法完全满足客户需求,ASML已在研究进一步扩大生产,但TeraFab能否在期限内拿到足够数量的光刻机仍是未知数。此前有报道称,TeraFab工厂将于2027年中旬接收首台EUV光刻机,但厂房建设稍慢,要到2027年末才完成,EUV光刻机可能晚一些搬入并闲置一段时间。
埃隆·马斯克于10月20日在X平台上SpaceX 2026年第三季度财报电话会议的直播中表示,ASML及其他关键半导体设备供应商已加快向Terafab半导体制造设施(特斯拉与SpaceX的联合巨型项目)发货,以支持其激进的时间表。他说公司目标是到2028年第三或第四季度在位于得克萨斯州Gibbons Creek的主要工厂实现芯片量产,并强调该时间表'高度理想化'且带有'很大误差';SpaceX计划于2027年第二季度前后在得州奥斯汀的研发制造工厂生产首个实验性测试芯片。Terafab将采用基于英特尔14A制程节点的传统极紫外(EUV)光刻系统;英特尔于2026年4月正式加入Terafab项目以共同开发和重构硅制造技术。据非官方消息,Terafab首台EUV设备原定于2027年年中交付,目前尚不清楚这是否就是马斯克在广播中所指的加快交付的时间表。其他主要供应商包括美国设备制造商应用材料、泛林研究和科磊(KLA)以及日本的东京电子;特斯拉和SpaceX还在与约10家韩国设备制造商洽谈,包括以先进封装设备著称的Hanmi Semiconductor和高压氢退火设备制造商HPSP。马斯克还概述了其AI公司的算力目标:预计到2026年底有25-30亿瓦(GW)算力投入使用,到2027年底总计达到13 GW,并计划到2027年第二季度末使一个44万GPU的英伟达'Vera Rubin'训练集群上线。该事件属于计划/目标状态,尚未实现量产。
据TrendForce转发的消息,SpaceX的Elon Musk就Terafab项目表示,首颗测试芯片计划在"明年大约5月或6月"产出,量产则"至少在28年第三季度或第四季度的可能结果之列",均为计划/预期状态,尚未实现。当被问及EUV订单时,他感谢ASML加快设备交付。原文未说明原因或背景细节。
据路透社报道,马斯克在一场SpaceX电话会议上表示,其半导体制造项目Terafab目标在2028年第三季度实现量产,但他承认第三或第四季度均有可能,并称该时间表“非常激进”,因为美国的先进逻辑芯片工厂通常需要三年或更长时间建造。在量产之前,Terafab计划于2027年5月或6月前后在奥斯汀研发设施生产首款使用SRAM电路的功能性测试芯片。设备供应仍是主要挑战,尤其是来自ASML以及Applied Materials、KLA等美国供应商;当被问及SpaceX是否已向ASML订购EUV光刻机时,马斯克未直接回答,但感谢ASML等供应商加快设备交付。据路透社报道,ASML预计即使计划扩大EUV产能,到2028年需求仍将超过供给。据The Elec报道,特斯拉和SpaceX正与韩国半导体材料、零部件和设备供应商洽谈建立Terafab供应链,多家公司已签署保密协议,其中HPSP和Hanmi Semiconductor是仅有的两家被公开与Terafab联系在一起的韩国设备供应商;但据报道Terafab寻求比中国竞争对手更低的价格。关于制造伙伴,TSMC董事长兼CEO魏哲家确认双方仍在讨论,但强调任何涉及TSMC的工厂必须由TSMC运营,这与马斯克10月7日关于其公司将自建自营Terafab(可能允许TSMC转租空间而不承担运营角色)的说法存在分歧;另据路透社援引彭博报道,Intel CEO陈立武表示公司将继续参与Terafab。
ASML与Xanadu宣布开展合作,研究先进光刻工艺能否抑制光子量子计算中最关键的工程限制之一——光子损耗。双方将针对Xanadu的光子量子硬件研究先进光刻工艺,重点考察更严格的图形化控制能否抑制损耗机制并改善容错、实用规模机器的前景。该合作计划特别将光学损耗与线边缘粗糙度(LER)联系起来:光刻定义波导及其他纳米光子结构的横向边界,实际边缘中的纳米级偏差会扰动波导折射率边界,将导光耦合到辐射模式或产生背散射,导致传播损耗。ASML贡献光刻成像、工艺窗口、计量和计算校正方面的专长,Xanadu贡献器件需求、光子电路设计和量子级性能数据。原文明确指出:该合作并不意味着ASML在制造量子计算机,公告也未指定生产节点、工具平台或数值损耗目标;这是一项研究工作,旨在理解哪些光刻手段可以制造更低损耗的光子结构,近期成果是工艺知识而非成品容错机器。成功还将取决于封装、光纤到芯片耦合、探测器效率和光源质量,这些仅靠光刻无法解决。
据TrendForce于2026年10月20日发布的信息,ASML在2026年第三季度对中国的出货量激增至其系统销售额的23%。原文仅给出该出货占比数据,未说明增长原因,也未提供其他财务或出货细节。
英特尔首席执行官陈立武近日在接受《日经亚洲》采访时,被问及中国能否在未来5至10年内赶上美国的芯片能力,他回应称“现在我认为,差距并没有那么大”;他未说明所指的芯片类型、制造节点、良率或成本,也未给出量化指标,原文亦说明该表态不能解读为中国已在先进制程上追平美国。他表示美中企业各有优势与短板,并提到地缘政治限制带来的敏感问题,但未将其归结为某一项政策或技术突破。报道背景包括:ASML此前确认其EUV系统销售已受限制,荷兰政府对部分先进浸没式DUV设备实施出口许可制度;上海朗道科技展示了FlintNano LPP-OXXO低功率激光诱导等离子体EUV光源原型,公司公布的参数为驱动激光功率1000瓦、工作频率1至20千赫兹、转换效率超过2%、EUV输出功率超过15瓦、可连续运行100小时以上、国产化率约90%,但这些为企业公布指标,未经独立验证,朗道称商业化仍需数年。同场采访中陈立武称英特尔重组已完成约八成,重建有竞争力的晶圆代工业务还需要多年,并以台积电用了10至20年成为全球领先代工企业为例。
10月6日,由于担忧ASML可能进入混合键合设备市场以及HBM相关设备需求延后,美国银行下调了荷兰封装设备厂商Besi的投资评级,当日Besi股价下跌5.39%;次日瑞银进一步下调评级,Besi股价再跌8.49%,短短两个交易日累计下挫约13.4%。ASML早在2025年就已交付面向先进封装的TWINSCAN XT:260光刻系统,今年又传出研发混合键合设备的消息,并与Prodrive Technologies、VDL ETG等长期供应商进行合作接洽;2026年5月15日公布的国际专利WO2026098870A1《Bonding Apparatus》申请人为ASML Netherlands BV,但ASML尚未公开确认其混合键合设备的商业交付时间、客户认证进度或量产性能。10月1日,应用材料与Besi升级合作,Besi将成为应用材料位于硅谷的EPIC研发中心创新合作伙伴,该中心规划投资规模最高约50亿美元,投资将随客户项目推进逐步展开;五天后应用材料又宣布与英特尔深化合作,研发范围覆盖下一代晶体管、片上互连以及Foveros 3D先进封装。2026年3月,路透社援引知情人士报道称Besi因混合键合技术受到潜在收购方关注,Lam Research和应用材料均在相关名单中,但截至目前公开报道并未证实相关收购交易最终达成。此外,2026年5月Imec与EV Group宣布在晶圆到晶圆混合键合研究中实现200nm铜互连间距,300mm晶圆上所有测试芯片键合后铜焊盘叠对偏差低于40nm。大规模混合键合设备订单真正释放的时间仍受下游技术路线与量产进度制约。
ASML未发布任何公告,但专利、供应链报道与其自身路线图三方面证据指向其正在开发芯片对晶圆(D2W)混合键合设备;据文中所述,其量产不早于2030年,2027年市场竞争者为Besi、韩华、SEMES与中国设备商。文中称ASML入局的影响在于把混合键合从后道设备重新定义为前道设备,并以此解释Besi股价三个月回撤46.8%,称市场调整的是估值框架而非当期业绩。另提及国内受益顺序为减薄/CMP→临时键合解键合→混合键合本体→材料,且混合键合设备本身的国产化率仍不足5%。
中国初创公司Langdao Silex展示开发出首款国产极紫外光刻(EUV)激光光源,逐步为中国的完整供应链自主铺路。该系统名为FlintNano LPP-OXXO,据报道EUV输出功率超过15 W,所用零部件约90%为国产或自主开发。该系统采用激光等离子体(LPP)技术,即用高功率激光产生等离子体并产生先进芯片制造所需的EUV辐射,与ASML使用的工艺类似。据Langdao Silex公布的规格,FlintNano系统采用1,000 W驱动激光器,重复频率介于1至20 kHz之间;转换效率超过2%,公司声称设备可连续运行超过100小时。据称原型机适合用于晶圆曝光测试,但仍需进一步调试。背景方面,在美国政府施压荷兰政府停止销售这些先进工具后,EUV光刻设备被禁止在中国销售;ASML从未向中国交付过任何一台EUV扫描仪,荷兰政府在美国压力下于2019年实施出口封锁,尚无任何一套系统部署,但ASML继续向中国客户出货DUV系统。更重要的是,开发光源只是构建完整EUV扫描仪的一部分,此类系统还需要极其精密的反射光学器件、复杂的晶圆定位机构以及众多子系统的复杂集成。
本文为Semiconductor Engineering发布的芯片行业每周回顾,罗列本周多项行业动态标题,包括:晶圆厂扩建加速;中国在存储和EUV方面取得进展;Teradyne的测试交易;SEMICON West和OCP亮点;3D SiP;TSMC和ASML的信号;300mm晶圆厂支出;光学和3D计算初创公司获得新融资;量子硬件进展。原文仅为标题式汇总,未给出具体数字、日期、价格、产能变化幅度、交易条款或事件状态等细节,也未说明原因。
中国最大的芯片设备制造商正通过收购方式进入混合键合(hybrid bonding)领域,这是一种先进封装工艺,全球厂商从Besi到ASML也在竞相追逐。分析师指出,对中国企业而言利害关系不同:由于美国出口管制限制了获取先进制程晶体管微缩所需设备的渠道,更密集地堆叠和连接芯片已成为缩小性能差距所剩无几的路径之一,华为将这一路线概括为其'Tau scaling law'(Tau扩展定律)。事件为正在进行的收购布局,具体收购标的、金额与时间表原文未说明。
本周多重压力叠加引发全球科技股大规模抛售:截至周四,全球市值最高的20只AI及半导体股票合计蒸发逾1万亿美元;追踪芯片板块的iShares半导体ETF(SOXX)周四录得连续第八个交易日下跌,区间累计跌幅约12.7%,为该ETF 11年来最长的连跌纪录。周四亚洲市场跌幅更深:韩国SK海力士单日暴跌逾10%,三星电子跌8.73%,LG Innotek跌8.95%,首尔半导体跌9.28%,三星SDI跌6.26%;日本软银集团跌7.9%,爱德万测试暴跌近14%,东京电子跌6.45%,瑞萨电子跌8%,台积电跌1.81%。美股方面,英伟达当日收跌1.84%,AMD跌1.5%,英特尔跌约2.8%,戴尔科技重挫6.8%。原文明确本轮抛售源于多重压力叠加:周三公布的美国9月CPI高于预期、市场加大对美联储进一步加息的押注,AI融资成本攀升(博通和英特尔CEO本周一警告融资问题可能成为AI扩张的重大阻力),以及竞争格局恶化(长鑫存储宣布架构突破、马斯克称中国将在2028年生产大量内存芯片)。部分分析师认为抛售反映的是融资成本担忧而非AI算力需求的质疑,真正的警报线是需求信号。
根据研究机构SemiAnalysis对专利申请文件的分析,ASML似乎正在开发一种晶圆对芯片(D2W)混合键合机,这是该公司在先进封装领域的第二个动作。该工具将使ASML与当前该领域的领导者Besi以及一批追逐同一市场的日益增多的前道设备竞争对手形成竞争。背景是随着晶体管缩小变得更困难、成本更高,先进封装已成为芯片设备制造商寻求下一增长点的方向。原文未说明原因以外的时间表或量产计划;以上仅为专利文件分析所得出的迹象,不代表产品已发布或上市。