NuAxi半导体贸易情报

荷兰记者调查：中国在出口管制收紧前囤积逾800台ASML光刻机（约半数在中企手中）；2024年荷兰部分撤销NXT:2050i与NXT:2100i对华出口许可

发生了什么

荷兰科技记者马克·海金克（长期追踪ASML并著有相关书籍）在调查中提出判断：中国在出口管制全面收紧之前已囤积规模可观的ASML光刻机，为芯片技术持久战提供设备层面缓冲。其数据显示中国境内拥有800多台ASML光刻机，其中约一半在中国企业手中，另一半部署在三星、SK海力士等外资在华工厂；该数字并非官方统计，而是其基于长期跟踪的估算。文中指出，在EUV被禁、DUV尚可采购的窗口期内，中国企业进行了集中采购。这些存量设备被用于推进先进工艺：2022年中国厂商利用已有ASML DUV设备通过多重曝光实现等效7nm芯片制造；2023年国产5G手机搭载基于该工艺的芯片；文中同时说明DUV多重曝光在工艺复杂度、成本与良率控制上面临压力。管制方面，2024年荷兰政府部分撤销了ASML NXT:2050i和NXT:2100i浸润式DUV光刻机的对华出口许可，影响少数中国客户；此后美国进一步推动将限制范围扩大至存量设备的维保服务。海金克在2018至2019年随ASML时任CTO访问上海某工厂时观察到，中方产品停留在90nm水平，但研发路线已指向28nm浸润式系统。