浙大团队国内首次发布硅-28硅烷特气与4英寸硅-28外延片:特气化学纯度99.99998%、丰度99.99576%,外延层丰度99.9937%,属材料制备阶段成果
10月22日消息,浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队在上周举行的第二届量子科技前沿论坛上,国内首次发布硅-28硅烷特气与4英寸硅-28外延片两项成果,属于国家级课题"量子信息硅-28同位素外延片制备及应用"的阶段性进展。经中国计量科学研究院检测,硅-28硅烷特气的硅-28同位素丰度为99.99576%,化学纯度为99.99998%;依托该特气自主研制的4英寸硅-28外延片经二次离子质谱检测,外延层硅-28丰度为99.9937%,与特气丰度同一量级,未出现显著同位素稀释。文中提及今年6月中核集团核工业理化工程研究院宣布首次实现丰度超过99.99%的硅-28自主量产,但当时仅打通同位素富集环节,下游外延转化尚未完成。需注意当前公布的仅为材料制备阶段检测数据,尚未涉及用该外延片制造的量子器件在相干时间、门保真度等核心量子指标上的表现,团队将成果定位为"阶段性突破",从材料到可工作量子芯片仍有器件工艺、界面缺陷控制等多重环节需验证。原文未说明原因。
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- 浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队
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- 35 / 100, medium impact