NuAxi半导体贸易情报
佳能将于2026年12月初推出额定每小时400片晶圆的FPA-6400ES6a KrF光刻扫描机
发生了什么
Canon Inc. 于2026年11月10日表示，将在2026年12月初推出FPA-6400ES6a，这是一款用于制造存储器和逻辑半导体的氟化氪（KrF）光刻扫描机，额定产能为每小时400片晶圆。该公司新闻稿未给出确切的发布日期、价格或出货量。
影响与信号
中影响影响力评分：55/100
受影响器件与厂商
KrF lithography scanner
Canon Inc.
KrF scannerproduct launch400 wafers per hourmemorylogic
来源与时间
来源：DigiTimes Asia · 2026/11/10 · 查看原始来源
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