NuAxi半导体贸易情报
SMEE展示新一代国产光刻系统，宣称前道设备90%以上关键部件国产化并推进量产
发生了什么
上海微电子装备（SMEE）展示了覆盖前道晶圆制造和先进封装的新一代国产光刻系统，标志着中国在半导体设备本土化方面的进一步进展。公司宣称其前道系统中90%以上的关键部件为国产采购，且该设备正推进进入量产阶段。以上均为公司方面的展示与宣称内容，量产推进的具体时间表和验证情况原文未说明。
影响与信号
中影响影响力评分：58/100
受影响器件与厂商
lithography systems
Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE)
localizationlithographydomestic sourcingvolume productionfront-end wafer fabricationadvanced packaging
来源与时间
来源：DigiTimes Asia · 2026/11/8 · 查看原始来源
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