朗道硅芯展出宣称国产化率90%、输出功率15W的EUV光源原型,距量产仍需三至五年

中国半导体技术初创公司朗道硅芯(Langdao Silex (Shanghai) Technology)公开展出一款极紫外(EUV)光源原型,宣称国产化率达90%,样机输出功率为15W。原文未说明原因。该公司称此举标志着中国在发展国产光刻技术方面的进展,但该系统距离量产仍有三至五年,输出功率和长期稳定性是主要工程挑战。该事件为原型亮相,尚不代表量产或商用。

来源：DigiTimes Asia · 2026/10/15 · 查看原始来源