NuAxi半导体贸易情报
上海微电子展示新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800模型，称国产前道光刻成像性能已与国际同类领先产品水平相当
发生了什么
上海微电子装备集团携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800（模型）亮相中国馆，展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。据上证报，目前国产前道干式光刻机成像性能已与国际同类领先产品水平相当，套刻精度、生产效率紧密追赶国际标杆。原文未说明原因以外的量化信息；此次展示为模型展示，不构成量产或出货的确认。
影响与信号
中影响影响力评分：50/100
受影响器件与厂商
前道干式扫描投影光刻机
上海微电子
光刻机前道光刻上海微电子模型展示
来源与时间
来源：华尔街见闻 · 2026/11/8 · 查看原始来源
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