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专访：蔡司SMO总裁称High-NA EUV已具备量产条件，订单已排至2027年
据DIGITIMES独家专访，蔡司半导体制造光学（SMO）总裁Christoph Hensche表示High-NA EUV已准备好进入量产，订单已排至2027年。报道指出，AI芯片需求激增延长了蔡司（EUV光刻光学关键供应商）的订单能见度，2026年和2027年的需求已经明确，蔡司及其他部分制造商未来数年的产能已被全部订满。
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来源：DigiTimes Asia · 2026/10/18 · 查看原始来源
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