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ASML计划扩产EUV依赖蔡司

ASML 扩大 EUV 生产的计划部分取决于蔡司增加合格精密光学元件产出的能力。

EUV productionqualified precision-optics output
EUVExpansionZeissOptics

来源:EE Times · 2026/10/14 · 查看原始来源

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