NuAxi半导体贸易情报
江苏海思11月集中交付光刻机：5台12寸、4台8寸、5台6寸双面对准设备发往日本MEMS、AR光波导及LED企业
发生了什么
据江苏海思（HISIGK）官方披露，2026年11月公司迎来集中出货节点，一批全自动双面对准光刻机已完成调试并整装待发，交付覆盖12寸、8寸、6寸多尺寸平台，分别发往日本MEMS制造企业、AR光波导头部企业及LED芯片企业。本次交付核心为5台12寸光刻机，其中3台采用FOUP天车自动上料方案，匹配12寸晶圆量产产线，实现上料、对准、曝光、下料全流程自动化，可适配超表面光学、硅基微透镜、AR光波导等器件的双面图形套准需求。同期交付的还有4台8寸双面自动对准光刻机（主要面向MEMS传感器和微流控器件制程）和5台6寸全自动光刻机（聚焦氮化镓、碳化硅等化合物半导体及LED芯片、功率器件领域）。与追求极限制程的EUV光刻机不同，江苏海思聚焦接近式与接触式光刻赛道，原文未说明此次交付对价格或供需的具体影响。
影响与信号
中影响影响力评分：50/100
受影响器件与厂商
12寸双面对准光刻机8寸双面自动对准光刻机6寸全自动光刻机
江苏海思（HISIGK）
光刻机江苏海思设备交付双面对准国产替代日本
来源与时间
来源：cnBeta · 2026/11/9 · 查看原始来源
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