采用SK海力士生产经验打造的Trinity Fab计划2027年5月启用洁净室并于10月启动全面试验平台运营

发生了什么

据行业消息人士11月6日披露，由韩国政府、京畿道、龙仁市与SK海力士共同设立的非营利基金会Trinity Fab计划于2027年5月启用洁净室，并在10月启动全面试验平台（testbed）运营。该设施将提供与SK海力士前段半导体生产线类似的300mm晶圆验证环境，旨在支持国内半导体材料、零部件与设备厂商的技术开发与产品商业化，解决其进入量产的瓶颈并实现目前依赖海外的技术本土化。Trinity Fab计划5月开始装机，10月推出验证服务，将引入37台设备，其中70%计划在10月前安装，其余设备将在2031年前分阶段导入。出资方面，SK海力士出资4432亿韩元用于建设，中央政府出资3736亿韩元，京畿道与龙仁市出资577亿韩元；设备投资总额约3000亿韩元，其中最贵的设备为ASML的ArF浸没式光刻机，刻蚀验证将使用Lam Research、应用材料（AMAT）与日立的设备。设施位于龙仁半导体集群SK海力士首座晶圆厂第一期内，约占约1200坪面积中的约1000坪（3306平方米），洁净室洁净度为Class 100或更高；1000坪中800坪将划分为扩散、光刻、刻蚀、薄膜沉积、CMP、清洗及量测检查七个工艺区，其余200坪为共享洁净室，分为约13.5坪的15个单元，供厂商安装自有设备。该设施目标是将国内厂商从产品开发到量产采用所需时间缩短30%，并计划支持约300家企业。共享洁净室目前正在招募企业，入驻者将于2027年1月通过内部评审后选定；入选企业可在2027年下半年开始在洁净室内安装自有设备。Trinity Fab目标年度收入至少300亿韩元；在包括政府出资在内的基础设施建设于2031年完成后，基金会计划利用内部产生的收入继续运营和升级设备。

影响与信号

受影响器件与厂商

来源与时间

来源：The Elec · 2026/11/8 · 查看原始来源