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阿斯麦EUV光源技术突破，2030年芯片产能或增50%

阿斯麦研究人员找到提升EUV光源功率方法，预计到2030年芯片产量可提高50%。该技术通过强化锡滴发生器实现功率提升，升级后设备每小时处理晶圆数将增加。