江苏海思自2024年以来第17台光刻机通过验收即将出口欧洲:10月12日境外客户验收、10月13日另一台8英寸掩模对准光刻机完成调试发运
据快科技10月16日报道,江苏海思半导体科技有限公司近日接连完成两台光刻机的出厂验收与发运,其中一台即将出口欧洲,这是该公司自2024年以来向境外市场交付的第17台光刻设备。10月12日,境外客户验收代表团到访HISIGK洁净车间,对一台全自动光刻机进行出厂前最终检验,按双方约定验收通过后设备立即启程发运,跨越八千公里抵达欧洲客户。10月13日,另一台面向8英寸晶圆的全自动掩模对准光刻机完成调试并装车发运,该设备采用SMIF天车上料系统,主要用于硅基Micro LED晶圆的图形化制程,正面对准精度优于正负0.5微米,可选配背面对准模块,对准精度优于正负2微米。该公司产品谱系覆盖1微米级接触式光刻机到350纳米及500纳米分辨率步进式投影光刻机,已在苏州相城与成都天府新区建立双生产基地,产品覆盖2至12英寸晶圆。原文未说明原因。
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