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三大晶圆厂竞逐2纳米，High-NA EUV设备单价3.8亿美元

台积电、英特尔及三星正竞相推进2纳米以下制程，但并非所有厂商均计划采用单价约3.8亿美元的ASML High-NA EUV设备来生产1.4纳米芯片。此举源于厂商需权衡下一代光刻技术带来的巨额投资风险与性能回报。