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徐州博康KrF/ArF光刻胶目标五年量产

徐州博康计划五年内量产KrF/ArF光刻胶，其中高端产品已通过部分头部晶圆厂验证。当前KrF/ArF市场超85%份额由日美企业主导，中国自给率不足1%。