ASM称传统芯片微缩已近极限,押注新材料驱动半导体创新
ASM技术副总裁Glen Wilk在SEMICON West 2026期间于旧金山Moscone Center举行的CEO Summit面板会议上(当地时间10月14日)表示,传统微缩实际上已走到其使用寿命的尽头,材料将不再仅仅支持微缩,而是将驱动半导体创新。他解释,仅靠工艺微型化已无法满足人工智能对计算性能和能效的要求,并以晶体管栅极为例:作为栅介质使用超过50年的二氧化硅被氧化铪等高k材料取代,以降低栅极漏电流并改善晶体管性能;他还强调热管理领域需要材料创新。ASM的主要收入来源是ALD和外延设备;钼等新型互连金属也可用ALD沉积,GAA晶体管所需的硅和硅锗薄膜则用外延设备生长,因此新材料的引入对ASM构成收入增长机会。会议发言未涉及具体价格、产量或订单数据,原文未说明原因之外的额外背景。
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