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CEA-Leti将FRAM工艺缩至22nm

CEA-Leti研究人员利用3D电容架构将FRAM工艺缩至22nm，实现0.0028μm²超小单元。通过垂直集成HZO薄膜，该技术匹配10nm SRAM密度，并计划集成至22nm FDSOI平台。