Lam Research与IBM合作亚1nm逻辑
IBM与Lam Research签署五年合作,在Albany实验室开发亚1nm逻辑电路。合作聚焦于Lam的Aether干式光刻胶技术,以解决高数值孔径EUV光刻中的随机噪声问题。
利多
Lam Research设备与材料业务,确立其在先进制程光刻领域的长期竞争优势。
- Related manufacturers
- IBM, Lam Research
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IBM与Lam Research签署五年合作,在Albany实验室开发亚1nm逻辑电路。合作聚焦于Lam的Aether干式光刻胶技术,以解决高数值孔径EUV光刻中的随机噪声问题。
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