Lam Research与IBM合作亚1nm逻辑

IBM与Lam Research签署五年合作，在Albany实验室开发亚1nm逻辑电路。合作聚焦于Lam的Aether干式光刻胶技术，以解决高数值孔径EUV光刻中的随机噪声问题。利多Lam Research设备与材料业务，确立其在先进制程光刻领域的长期竞争优势。

来源：Tom's Hardware · 2026/3/12 · 查看原始来源