NuAxi半导体贸易情报
台积电联合研发GAA晶体管原子级量测技术
发生了什么
康奈尔大学、ASM与台积电研究人员发表论文，阐述利用电子叠层衍射技术对GAA晶体管进行三维原子级应变与粗糙度量测。该研究旨在解决纳米级三维架构的工艺控制需求，属于基础研发里程碑。利空/利空/关注: 中性，此为长期工艺研发进展，对当前组件供应、价格及交易决策无直接影响。
影响与信号
低影响影响力评分：8/100
受影响器件与厂商
GAAFET
TSMCASM
metrologyR&D
来源与时间
来源：Semiconductor Engineering · 2026/2/23 · 查看原始来源
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