Advanced Energy在SEMICON West发布Centra Smart Hub，用于下一代半导体设备的改进型温度测量

发生了什么

Advanced Energy Industries Inc (Nasdaq: AEIS) 在旧金山SEMICON West上发布了新型Centra™ Smart Hub。该产品与新的Remote Smart Sensors (RSS)配合，为多种灯加热的Si和SiC热工艺（如快速热退火RTA和外延Epi生长）提供更精确的晶圆温度测量和实时温度控制。公司称在3.3 um或5.2 um波长、温度最高至1700°C条件下测量时，精度较其他标准方案最高提升40%。Centra Smart Hub内置ECAT和Ethernet协议以便集成到现有系统架构；hub安装在仪表架上并连接RSS，RSS直接安装在腔体上，可在最高60°C环境温度下提供晶圆多个测量点。来源未说明该产品与特定零部件价格或供应状况的关联。

影响与信号

受影响器件与厂商

来源与时间

来源：EE Journal · 2026/10/29 · 查看原始来源