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三星投资的Wooptix计划向韩国半导体制造商供应Phemet晶圆量测系统，明年开始客户现场验证，目标两到三年内进入量产线

发生了什么

西班牙半导体量测设备厂商Wooptix计划向一家韩国半导体制造商供应其Phemet晶圆量测系统，客户身份未披露。公司技术营销经理Marco Franchi表示，将于明年开始在客户现场部署设备以验证其对客户工艺的适用性，目标是在两到三年内进入量产线。三星风险投资（Samsung Ventures）去年牵头对该公司进行了投资。Phemet是一套自动化量测系统，用于测量300毫米晶圆的形状（包括弯曲和翘曲），可在不到一秒内捕获整片晶圆图像，并具备亚纳米高度测量分辨率；该系统用LED照射晶圆并从反射光的相位差计算表面轮廓，采用被称为Wavefront Phase Imaging（WFPI）的技术。公司于2025年11月发布Phemet，并于5月在法国半导体研究机构CEA-Leti安装了首台系统。Wooptix计划先在韩国争取逻辑半导体客户，再扩展到存储器，原因是GAA晶体管和背供电网络（BSPDN）工艺使晶圆对准和形状控制更具挑战性；随后计划扩展到包括混合键合在内的先进封装应用，长期还在考虑为D2W和D2D工艺小型化设备。Wooptix成立于2016年，2025年2月在由Samsung Ventures和西班牙技术转型协会（SETT）共同牵头的C轮融资中筹集超过1000万欧元，现有投资者包括Intel Capital和东京电子（TEL）风险投资也参与其中。公司总部位于西班牙特内里费岛并设有制造设施，在马德里和法国格勒诺布尔设有办公室，约80名员工中60%至70%从事研发，计划到今年年底或明年初将员工扩充至约100人。