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Soitec采用KLA检测系统提升SiC衬底良率

发生了什么

Soitec选用KLA Surfscan SP A2无图形晶圆检测系统,旨在提升其车用碳化硅器件SmartSiC衬底的制造良率。此举旨在满足电动汽车市场对高质量SiC衬底日益增长的需求。中性:此为长期工艺改进,对当前SiC晶圆的现货供应、价格及交易库存无直接量化影响。

影响与信号

低影响影响力评分:10/100

受影响器件与厂商

SiC WafersSmartSiC
SoitecKLA Corp
manufacturingyieldprocess-control

来源与时间

来源:Semiconductor Today · 2022/7/15 · 查看原始来源

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