半导体设备零部件国产替代梳理：先进制程设备国内自研占比不足20%，成熟制程约40%-50%，EUV光学系统、ESC、射频电源、真空泵/阀、MFC等国产化率较低

发生了什么

本文为半导体设备零部件国产替代的行业梳理。文中指出，整体上先进制程设备中国内自研占比不足20%，成熟制程设备中约40%-50%；先进制程相关的光学系统（EUV）、静电卡盘（ESC）、射频电源、真空泵/阀、MFC等零部件当前国产化率较低。文章将零部件分为五大环节并列举国内供应商：机械结构件（金属件：富创精密、超纯应材、托伦斯、先锋精科；非金属件：神工股份、珂玛科技、江丰电子）、真空系统（新莱应材）、气体输送与流体控制系统（高凯技术、正帆科技、星源材质）、射频与电气电源系统（英杰电气、恒运昌）、晶圆传输与机电一体化系统（京仪装备）。原文未说明原因，仅为背景性行业梳理，无具体价格或供需事件。

影响与信号

受影响器件与厂商

来源与时间

来源：格隆汇·半导体 · 2026/11/12 · 查看原始来源