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TOTO 宣布投资 600 亿日元在福冈丰前基地新建半导体用途陶瓷工厂，预计 2029 财年上半年投产
发生了什么
TOTO（东陶）当地时间 10 月 30 日宣布，将在其福冈丰前生产基地内新建一座总建筑面积 3.6 万平方米的生产设施，总投资 600 亿日元（约合 25.35 亿元人民币），预计 2029 财年上半年投产。该新工厂将制造新一代静电吸盘和气溶胶沉积 (AD) 薄膜，两者均面向半导体制造中的蚀刻工艺，拥有出色的等离子体腐蚀耐受性能。此外，TOTO 还将在位于大分中津的两家工厂购置下一代 AD 组件的量产设备，这部分投资额约为 110 亿日元（约合 4.65 亿元人民币），预计 2028 财年投产。此为宣布的投资计划，尚未投产。
影响与信号
中影响影响力评分：60/100
受影响器件与厂商
静电吸盘气溶胶沉积 (AD) 薄膜
TOTO
TOTO半导体陶瓷静电吸盘气溶胶沉积薄膜产能扩张福冈丰前
来源与时间
来源：IT Home · 2026/11/1 · 查看原始来源
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