NuAxi半导体贸易情报
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AMEC首台Primo Domingo高选择性气相刻蚀系统出货，瞄准中国先进3D芯片制造关键空白
中国Advanced Micro-Fabrication Equipment（AMEC）已将其首台Primo Domingo高选择性气相刻蚀系统出货至一家国内主要半导体研发与制造客户，标志着中国在为下一代3D芯片开发本土设备方面向前迈进了一步，瞄准中国先进3D芯片制造中的关键空白。
selective etching equipment
AMECPrimo Domingoselective etching3D chipsindigenous equipment
来源：DigiTimes Asia · 2026/10/22 · 查看原始来源
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