NuAxi半导体贸易情报
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Langdao Silex发布90%国产化EUV光源原型样机，商用系统需更大功率，据称距量产尚需3–5年
TrendForce转发的新闻称，Langdao Silex公布了一款国产化率达90%的EUV光源原型样机；但据报道称，商用系统需要远高于原型样机的功率，距量产据称还需3至5年。原文未说明量产时间不确定的具体原因；本条为原型样机发布消息，并非量产或商用系统落地的事实。
EUV light source
EUVlight source prototype90%-domesticmass production 3-5 years awayChina
来源：TrendForce Official (Market Data) · 2026/10/14 · 查看原始来源
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