上观：中国极紫外光源样机国产化率达90%，目前距离量产还需3—5年

上观新闻报道，在第二十六届中国国际工业博览会上展出的国产极紫外光源样机国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试，但距离量产仍需3—5年。

来源：华尔街见闻 · 2026/10/14 · 查看原始来源