LPE与IME合作研发200mm SiC外延工艺

LPE与新加坡IME宣布合作研发高质量200mm碳化硅及特种外延工艺，旨在提升生长速率与均匀性。该合作属于早期研发阶段，旨在推进200mm SiC晶圆的技术成熟度。利多/利空/关注: 中性，此为远期技术研发，对当前SiC外延片及功率器件的供应、价格及交易无直接影响。

来源：Semiconductor Today · 2022/7/21 · 查看原始来源