ASML坚持LPP路线，EUV光源功率目标1000W

ASML坚持使用激光产生等离子体(LPP)技术，计划将EUV光源功率提升至1000W。尽管马斯克支持的FEL技术被看好，但ASML认为现有激光技术已足够。利多EUV光刻机长期产能规划，短期现货价格影响中性。

来源：Tom's Hardware · 2026/9/18 · 查看原始来源