蔡司独揽EUV镜头研发，重达12吨

EUV光刻机物镜由德国蔡司独揽，重达12吨且由4万零部件组成。该技术难度极高，加工需3个月，平整度要求为太平洋面积1mm偏差。利空：EUV供应链高度集中，技术壁垒极高，短期内难以突破。

来源：快科技 · 2026/8/1 · 查看原始来源