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DUV光刻维持先进芯片制造

EUV光刻机虽受瞩目,但深紫外DUV光刻工艺才是维持先进芯片制造的关键。文章指出DUV通过多重曝光技术承担了EUV难以处理的复杂制程。关注 EUV 与 DUV 技术协同效应。

EUV LithographyDUV LithographySemiconductor Manufacturing
EUVDUVLithographyTechnologySemiconductor

来源:EE Times · 2026/6/24 · 查看原始来源

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