NuAxi半导体贸易情报
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Lintec拟投70亿日元量产EUV防尘膜
日本胶带厂商Lintec计划投资70亿日元，于2026年量产1万张EUV光罩防尘膜。公司正与日本产业技术综合研究所合作开发碳纳米管基EUV光刻防尘膜，以提升高温下的耐久性。关注。传统工业巨头跨界进入EUV防尘膜领域，长期或增加供应竞争，但短期对价格影响有限。
EUV Pellicles
EUVPellicleNew EntrantCapacity Expansion
来源：TrendForce · 2026/5/25 · 查看原始来源
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