Spirox推SiC无损检测系统，年省成本768万美元

Spirox与Southport联合推出JadeSiC-NK无损缺陷检测系统，据估算可为拥有100台长晶炉的衬底制造商每年节省768万美元的刻蚀损失成本。该系统采用非线性光学技术扫描SiC衬底，旨在替代高成本、破坏性的KOH刻蚀检测法以提升良率。中性：该技术属于长期工艺改进，对当前SiC衬底的现货价格及短期供需无直接影响。

来源：Semiconductor Today · 2023/12/1 · 查看原始来源