Axcelis向日本客户交付SiC离子注入机

Axcelis向日本功率器件制造商交付一台Purion EXE SiC高能离子注入机，并完成一台Purion H200 SiC中能机的评估。该系统将用于150mm和200mm SiC功率器件的量产，服务于汽车和工业市场。中性：此为常规设备出货，反映SiC产能持续扩张，但对当前现货市场的供需和价格无直接影响。

来源：Semiconductor Today · 2024/4/4 · 查看原始来源