NuAxi半导体贸易情报
低影响影响力评分：15/100
ASM发布PE2O8双腔室碳化硅外延系统
ASM国际在ICSCRM 2024发布用于8英寸晶圆的PE2O8双腔室碳化硅外延系统，主打低缺陷率与高均匀性。该设备旨在满足功率器件市场需求，通过更高吞吐量与更低拥有成本推动SiC技术普及。中性：此为长期产能提升工具，对当前现货价格及组件供应无直接影响。
SiC Epitaxy EquipmentSiC Wafers
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来源：Semiconductor Today · 2024/9/30 · 查看原始来源
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