中微公司SEMICON China发布四款新工艺设备

中微公司在SEMICON China 2026期间推出四款新设备，涵盖ICP刻蚀、高选择性刻蚀、智能射频匹配器及Micro LED MOCVD。此举展示了其在硅基及化合物半导体关键工艺的研发进展。中性：此为设备新品发布，对当前电子元件供需及价格无直接影响。

来源：36氪快讯 · 2026/3/25 · 查看原始来源