EUV光刻机PEB氧气浓度提至50%

IMEC发现将PEB阶段氧气浓度提升至50%可使MOR光刻胶感光速度提高15-20%，从而提升EUV光刻机产能并降低成本。这是继ASML光源功率提升后的又一优化方案。利空，该技术提升EUV产能效率，缓解供应瓶颈并抑制价格上涨压力。

来源：快科技 · 2026/3/1 · 查看原始来源